1、氧化膜外观：检查
硬质氧化膜是否均匀、致密，不应有烧焦或易搅拌的疏松膜层，也不应因局部受热使氧化腐蚀的光亮斑点和边缘角部分膜层脱落。
同时，整个零件表面，除夹具影响外，局部表面不得有无氧化膜的地方。此外，膜层颜色也是检查的一部分，应依材料不同而为浅灰至深黑色，且颜色应一致，满足客户的要求。
2、厚度测量：硬质氧化层的厚度对其性能至关重要，因此厚度检查是必不可少的。可以采用金相磨片法做金相显微厚度检查，也可以使用膜厚仪或涡流测厚仪直接测量氧化膜厚度。此外，电子探针法也是一种精度更高的测量方法，适用于对厚度进行精确测量。
3、硬度和耐磨性：由于硬质氧化的硬度较高，需要进行硬度测试，确保满足要求。耐磨性也是其优良性能之一，因此磨耗性能测试也是必要的，一般可以采用滑动磨损试验或交变应力磨损试验进行测试。
